VUV-F型与UVU-F型结构相同，但是压力腔和真空腔互换，使其可以达到一些特定的功能。

　　2）由于VUV-F独特的气流平衡设计，可同时安装两个清洗头同时工作，进行双面清洗。

　　3）从中间喷嘴吹出的气流得到充分的应用，控制了整个气流和真空，从而保证了持续的清除性能不受材料厚度的影响。

　　7）不需要高额的消耗品，如高纯水或化学药剂等，同时不需要后续的烘干，降低了生产成本并缩短了生产线）超声波发生器性能永不衰减。

　　两个喷嘴产生的高压气刀有效的清除50-100μm的尘粒。这些尘粒被吸附至真空腔，工件在运行过程中表面会形成一层空气附着层，超声波可以有效破坏该附着层，从而使包裹着附着层内的微小颗粒分离出来，最后被真空吸走，达到清洗的目的。